
铅笔道获悉,近日,国内光刻胶企业—北京科华微电子材料有限公司完成1.7亿元的融资。本轮由沃衍资本、江苏盛世投资、紫荆资本、深圳市投控通产新材料创业投资企业、四川润资、北京高盟新材料等投资机构投资。
北京科华微电子材料有限公司(以下简称科华微电子)成立于2004年8月,是集光刻胶研发、生产、检测、销售于一体的中外合资企业,也是国内唯一一家拥有高档光刻胶自主研发及生产实力的国家级高新技术企业。2017年获得SEMI全球光刻胶企业前十;2018年获批“光刻胶国家地方联和工程研究中心” ;并建有北京市发改委命名的“光刻胶北京市工程实验室”。
科华微电子在光刻胶领域具有丰富的实践经验和理论经验,完成了紫外正性光刻胶、集成电路用高分辨G线正胶、I线正胶、KrF-248nm深紫外光刻胶的产线建设和量产出货,是集先进光刻胶产品研、产、销为一体的拥有自主知识产权的行业标杆企业,特别是KrF-248nm光刻胶代表了国内目前最先进的光刻胶研发与生产水平。
此外,科华微电子是中芯国际、华润上华、杭州士兰微、吉林华微电子、三安光电、华灿光电、德豪光电等行业客户的稳定合作伙伴。
在设备配置方面,科华微电子拥有KrF-248nm光刻胶分析测试及应用测试平台、I线光刻胶应用实验室、Hitachi SEM扫描电镜、TEL涂胶显影一体机等设备,可以对KrF-248nm光刻胶、G/I线光刻胶等所有产品进行全面的应用检测评估。值得一提的是,科华微电子是目前国内唯一拥有荷兰ASML曝光机的光刻胶公司,其最小分辨率可达0.11um。通过与客户晶圆厂同样的检测设备配置,实现了上下游产品检测的无缝对接。
该公司成立至今承接了国家02科技重大专项、国家“163”重大科技项目、国防科工委“十一五”重点科技项目、国家发改委产业化示范工程项目以及北京市科委重点计划项目、北京市工业促进局工业发展资金项目等国家级、北京市级重大课题,实现了G线正胶、I线正胶、KrF-248nm深紫外光刻胶的产业化。
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